国防武器装备系统的需求推动了超精密加工技术的发展，本文首先从描述当今*武器系统装备的特点出发，介绍了超精密加工技术在其中的应用。并在此基础上提出了我国超精密加工技术的发展思路以及近期面临的重要研究课题。
超精密加工技术是适应现代高技术需要而发展起来的*制造技术，它综合应用了机械技术发展的新成果以及现代电子、传感技术、光学和计算机等*，是高科技领域中的基础技术，在国防科学技术现代化和国民经济建设中发挥着至关重要的作用，同时作为现代高科技的基础技术和重要组成部分，它推动着半导体技术、光电技术、材料科学等多门技术的发展进步。超精密加工技术已成为国防工业研制现代化武器装备的关键技术，也是衡量一个国家科学技术水平的重要标志。
1 从现代几次战争的特点认识超精密加工技术的重要性
从上个世纪九十年代开始的几次局部战争中，包括*次海湾战争(1992年)、科索沃战争(1996年)、阿富汗战争(1999年)以及刚刚结束的第二次海湾战争(2003年)，*各国已经越来越清楚地认识到高科技对战争进程及zui终结果的影响。如果说过去的战争主要靠“数量”和“速度”的话，现在高科技、智能化武器则起了决定作用。高技术、智能化武器具有高能效、高精度等特点，武器的高精度必然要求其元部件的高精度，从而必须具备高精度的制造技术才能生产出来。美国及其盟国正是由于多年来大力发展包括超精密加工技术在内的*制造技术，突破了制造技术中的许多关键使其发展到实用阶段，才具备了生产*制导、夜视设备等高技术武器的能力。
1.1 *制导武器的大量使用和超视距攻击能力的提高
刚刚结束的第二次海湾战争与*次海湾战争、科索沃以及阿富汗战争相比，使用*制导炸弹的比例已经从6.8%、34%、66%上升到这次的接近100% ，制导方式也由惯性制导(INS)向激光制导、数字景像匹配末端制导以及*卫星定位系统(GPS)制导方式发展，其中应用zui广的激光制导中所用的许多激光元件如激光反射镜、激光陀螺腔体、非球面透镜等都要求非常高的精度和表面质量，这些元件将直接影响到制导精度。激光反射镜的高精度高反射率的平面、数字景像匹配末端制导需用的红外探测及接受、红外成像(磅锅汞)等要求的高表面质量平面，只能通过超精密研磨才能进行高质量批量生产，而非球面反射镜和透镜可利用CNC 超精密车削、磨削及抛光制成。
机载雷达是空中超视距攻击的关键，其中微波器件波导管的制造技术对雷达性能有重要影响，波导管的品质因素与其表面粗糙度、精度有关，用超精密车削技术可以较容易地*要求，从而zui终*雷达的性能。
1.2 夜战能力的提高
夜战是未来战争空袭的主要手段，它可以使许多不受电子干扰而使用光学瞄准系统的常规武器失效，从而减小攻击方的伤亡。夜战中可利用前视红外探测器、激光测距器、微光夜视以及光栅电视等清楚的看到地面成像。夜视设备的使用包含直升机、装夹车辆、导弹、人员等。由于沙漠气候炎热，为了便于晚间作战，这次海湾战争中美国为每个士兵都配备了高清晰度的夜视设备，而且与前几次战争相比重量大大*(400g) ，可以直接固定在头盔上，从而提高了士兵作战的灵活性。上述装置中，红外成像是关键技术，其中关键元件磅锅汞晶体要求很高的表面质量(低粗糙度、无划痕、无变质层)，需要用特殊的超精密研磨(如非接触研磨、机械化学研磨等功口工。夜视设备中同样用到了非球面曲面光学元部件。
1.3 电子对抗技术的进步
第二次海湾战争美军大量使用了电子干扰和反辐射导弹压制了伊军的通讯与雷达，使伊军彻底失去了指挥、预警等能力，由于各地驻军失去了与指挥部的联系，只能各自为战，所以美军的进展异常顺利。电子对抗中本方的电子装备必须具有极好的抗干扰能力与快速反应能力，利用砷化稼半导体制成的大规模集成电路与传统的半导体硅相比，具有速度快、工作可靠、抗辐射能力强等特点。砷化稼半导体器件的制造需要一整套超精密磨削、研磨、抛光工艺以及刻划等外延设备。此外，美国军用大规模集成电路的刻划必须要有一整套超精密加工及微细加工设备。
1.4 军用卫星系统的发展
现代战争已经不能离开各种卫星，如侦查用间谍卫星、GPS用的卫星网等。目前*上正在运行的卫星导航定位系统有美国的*定位系统(GPS)和俄罗斯的GLONASS，二者都提供军码和民码两种信号，主要用于战机及作战部队的导航定位、*制导以及救援服务等用途，与*次海湾战争相比，GPS制导占*制导的比例已由10%提高到这次海湾战争的90%，而且与激光制导相比，GPS制导具有精度更高，不受气候条件等外界因素干扰等优点。但美、俄目前GPS开放的仅仅是民码，如果不尽快发展本国的卫星导航定位系统，势必在未来战争中受制于人，处于被动挨打的局面，我国近年来也开始研制导航定位卫星正是在努力改变这种局面。
卫星上的姿态控制极为重要，必须有超精密的真空无润滑轴承，其孔轴几何精度为毫微米级，表面粗糙度为纳米级，必须用超精密磨削与研磨才能达到。此外对于侦查用的间谍卫星，必须装备*的光学望远系统、高分辨率电视摄像系统、高灵敏度红外成像系统等，这其中高精度非球面透镜、高分辨率电视中的光栅、红外成像的磅锅汞半导体元件等都必须用超精密加工技术才能制造出来。GPS系统中也要求具有抗干扰、反应快等特点，同样也离不开砷化稼半导体制成的大规模集成电路。
1.5 军用微型武器系统是未来的发展趋势
微小型武器是20世纪90年代美国等*工业国家开始发展的新概念武器，它不但在基础理论、设计、制造与计量测试技术等方面是革命性创新，而且对21世纪战争的模式将会带来变革性的影响。基于微米、纳米、微机电系统技术发展起来的微小型武器技术的内涵是：根据微小型武器特殊功能和特性，应用微机电系统(MEMS)、计算机、感知、控制等*技术，通过软、硬件接口，综合集成为微小型武器系统的光机电一体化技术。
微小型武器的种类主要包括微型飞行器、微小型水下无人潜器、微小型军用机器人技术、微小型侦察传感器系统。微小型武器具有以下重大作用：微小型无人武器由于体积小、隐蔽性好、快速反应、机动性好、生存能力强、成本低等特点，特别适用于城市和恶劣环境下(如核、生、化战场等)的局部战争。
由于微小型武器系统的发展，许多非硅材料以及其他结构材料的应用，只靠传统的(光刻掩模、电铸、LIGA等)MEMS加工工艺已经无法满足要求，而普通精密加工又无法满足尺度及精度的要求，所以可以利用超精密加工技术的特点，对一些非硅结构材料进行加工，满足使用要求。